Năng lực chế tạo thiết bị quang khắc của Trung Quốc hiện chỉ tương đương với trình độ của ASML khoảng năm 2004, theo nhận định của Francois Xavier Bouvignies, nhà phân tích tại UBS. Tuy nhiên, ông cho rằng khoảng cách này có thể được thu hẹp trong 2 đến 5 năm tới khi Trung Quốc sản xuất hàng loạt hệ thống quang khắc DUV ngâm và đưa vào vận hành thực tế.
